技术支持

薄层厚度测量(二)

返回列表 来源: 发布日期: 2023.03.15

对于环氧树脂层,当已知声速08 =2560m/s时,结合实验所得反射系数幅度谱和相位谱中的谐振频率05 值(见图8-2),就可由式(8-3)计算出涂层厚度,由幅度和相位谱得到的厚度分别为272μm和279μm,与电感测微仪测量结果之间的最大误差为2.08%。此处注意到,在反射系数幅度谱中,各谐振频率间的比值为f1:f3:f5 :f7:f9:f11 =12.94:4.96:6.99:8. 92:11.14,相位谱谐振频率间的比值为f1:f3:f5: f 7:f9: f 11=1:3.03:5.09:7.19:9.20:11.32,均基本满足奇数比关系。



相对于均匀性较好的环氧树脂层而言,EBPVD法因其自身工艺特点使得所制备的YSZ涂层内部存在一定数量的微小孔隙和裂纹,涂层呈现一定的非均匀性(见图8-3)。这种介质密度及弹性参数的局部波动造成声阻抗起伏变化,导致散射衰减变得更为复杂,并伴有频散现象发生,反映在声压反射系数相位谱上则表现为谐振频率间的比值不再严格满足奇数比的关系,并且谐振频率间比值偏离奇数比的程度与层本身的非均勾程度密切相关。这种情况下选择相邻谐振频率的间隔来计算涂层的厚度可以减小误差。


同理,当已知声速08=3100m/s时,结合反射系数相位谱中的谐振频率05 值(见图8-4),可根据式(8-4)计算出涂层的厚度,结果为139.5μm,测量结果的最大误差约为5.74%。同时,由相位谱可知f1:f3=1:3.6,说明YSZ涂层存在着明显的非均匀性。


分析认为:环氧树脂可看做均匀介质,超声波在其中传播时无频散现象,因而谐振频率比值基本符合奇数比关系。而EBPVD法制备的YSZ涂层具有明显的非均质性,所以谐振频率比值发生较大偏差,在实际应用中应注意区别。




灵科超声波坚持自主研发,最大力度投入研发设计,拥有一支近30年的研发制造团队,发明创造170余项专利新技术。主要品牌有LINGGAO灵高、LINGKE灵科、SHENGFENG声峰等。广泛运用在医疗器械、电子器材、打印耗材、塑料、无纺布、包装、汽配等多个领域,为海内外各行业、企业提供了大量稳定性强的优质超声波塑焊设备应用方案

【相关推荐】

咨询热线

+86 756 8626887