电力电子技术和超声波发生器的发展息息相关，电力电子技术阶段性的进步会推动超声波发生器的发展，而超声波发生器的发展则会对电力电子技术的新阶段发展产生影响。

根据超声波发生器功放管采用的器件类型，将其发展分为几个阶段：

（1）早期的发生器采用的是电子管超声波发生器，后来逐渐发展成为可控硅逆变式超声发生器。然而，由于这些发生器存在很多缺点，如今已经不再使用。

（2）超声波发生器采用了晶体管技术。这种发生器的成本不高，电子线路已成熟。然而，它的体积和重量都比较大，并且很难在谐振点上工作。受到功率管的限制，只能在小功率（300W以下）的场合使用。

（3）超声发生器的集成化。第三代超声波发生器采用全桥逆变器,配备电流型PWM和辅助保护电路,实现恒流控制,通过占空比调节来调整输出电压。该发生器具有很低的功耗,高可靠性的优点。

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