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(1)手持式超声研磨抛光，如图4. 9所示。其超声振动方向与加工件表面平衡，适用于模具表面及狭缝小孔的抛光。
(2)工件旋转的超声研磨装置如图4.10所示。超声作纵向振动，振动方向与工件旋转方向垂直。
(3)工具转动并振动的超声研磨装置如图4. 11所示。研磨过程中工件向前移动，振动方向与工件移动方向垂直。
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